Kiihtyvyys- ja paineenmittauksen teknologia

VTI:n kapasitiiviset piianturit valmistetaan yksikiteisestä piistä ja lasista. Rakenteella saadaan aikaan poikkeuksellisen hyvä luotettavuus, ennennäkemätön tarkkuus ja erinomainen pitkän ajan ja lämpöstabiilisuus.

Kapasitiivisen mittauksen periaate on yksinkertainen ja vakaa. Se perustuu kahden tasopinnan välisen tilan muutoksen havaitsemiseen. Kapasitanssi eli levyparin sähkönvarauskyky riippuu välitilan koosta ja levyn pinta-alasta.

Koska rakenne on hermeettisesti suljettu, sen pakkaustarve on vähäinen. Mitkään hiukkaset tai kemikaalit eivät pysty pääsemään elementin sisään, mikä parantaa sen luotettavuutta.

Kaksoiskondensaattorirakenne ja sen symmetrisyys parantavat kiihtyvyysanturin nollastabiilisuutta, lineaarisuutta ja poikittaisherkkyyttä. Tyypillinen lämpötilariippuvuus on alle 0,05FS/ºC ja poikittaisherkkyys alle 3 %.

Anturielementti voidaan virittää halutulle herkkyys- ja taajuustasolle sovelluksen tarpeiden mukaan. Sekä tasonsuuntaiseen että z-akselimittaukseen soveltuvia elementtejä on saatavissa. Kahden tai kolmen sirun ratkaisut mahdollistavat asiakaskohtaisten anturien valmistamisen.

Kapasitiiviset absoluuttista painetta mittaavat anturit ovat erittäin vakaita eivätkä asennusjännitykset juurikaan vaikuta niihin. Ympäristöoloista, kalibroinnista, linearisoinnista ja lämpötilakompensaatiosta riippuen niillä saavutetaan tyypillisesti 0,01 – 0,5 %/FS tarkkuus.